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成永軍 研究員 技術(shù)科學獎
2012年


  中國航天科技集團公司第五研究院第五一O研究所成永軍研究員因作為主要發(fā)明人之一提出了非蒸散型吸氣劑延伸超高/極高真空標準校準下限的方法,推動了真空計量技術(shù)的發(fā)展,從而獲得陳嘉庚青年科學獎技術(shù)科學獎。

  成永軍,1975年4月18日出生于甘肅省會寧縣。1998年畢業(yè)于西北工業(yè)大學,同年進入中國航天科技集團公司第五研究院第五一 研究所工作至今。2008年晉升為高級工程師。現(xiàn)任中國航天科技集團公司第五研究院第五一 研究所真空計量研究室副主任、真空一級計量站副站長。目前被聘為中國計量測試學會真空計量專業(yè)委員會委員、計量主考人。
成永軍高級工程師一直以來從事真空計量學領(lǐng)域的實驗研究工作。作為項目負責人和主要完成人,研制出我國首臺超高/極高真空標準、恒壓式正壓漏孔標準、極小氣體流量測量標準、新一代靜態(tài)膨脹法真空基礎(chǔ)標準等多臺真空計量標準,進一步完善了我國真空量傳體系。目前已獲授權(quán)國家發(fā)明專利15項,在國內(nèi)外學術(shù)刊物發(fā)表論文60余篇。曾先后榮獲科技進步一等獎、技術(shù)發(fā)明二等獎等。


非蒸散型吸氣劑在真空計量標準校準下限延伸中的應用

影響真空標準校準下限的主要因素是校準室內(nèi)表面的放氣效應。為了降低內(nèi)表面放氣效應對校準下限的影響,國際上采取的主要手段是對校準室內(nèi)表面進行拋光處理和進行高溫烘烤,但這并不能消除放氣效應的影響。因此,延伸真空標準校準下限仍然是一項挑戰(zhàn)性的工作。
非蒸散型吸氣劑具有兩個顯著地特點:一個是在室溫下對活性氣體,特別是氫氣的抽速很大;另一個是對惰性氣體無抽速。
首次提出利用非蒸散型吸氣劑延伸真空標準校準下限的方法,取得了顯著成效。
將非蒸散型吸氣劑應用于靜態(tài)膨脹法真空標準中,以惰性氣體作為校準氣體時,可以消除器壁放氣效應的影響。這是因為非蒸散型吸氣劑既維持了校準室中的高真空本底,又不改變校準室內(nèi)惰性氣體的氣體量,從而保證氣體靜態(tài)膨脹時波義耳定律嚴格成立,使標準壓力能夠準確計算,有效將靜態(tài)膨脹法真空標準的校準下限從國際最好水平(10-5Pa)延伸到了10-7Pa,為靜態(tài)膨脹法的研究提供了另一條思路。
將非蒸散型吸氣劑用在超高/極高真空標準中,以惰性氣體校準時,非蒸散型吸氣劑既維持了校準室內(nèi)極高真空本底,又不改變對校準室的有效抽速,保證了動態(tài)流量法原理嚴格成立,首次將國內(nèi)真空校準能力的下限延伸到了10-10Pa。